新品发布|SRT旗下微法尔携国产自研晶圆核心部件参展CSEAC 2024

2024-09-25

2024年，新质生产力热潮涌动。SRT作为一家以软体机器人技术为基础，以研发为导向的综合性创新企业，正在以加快构建多领域场景应用体系向“新”而行。如果说，9月24日开展的上海·工博会是SRT与全球工业人共商新质大未来的主会场，那在无锡开展的第十二届半导体设备与核心部件展示会（以下简称CSEAC 2024）就是SRT的分会场。

9月25日，SRT旗下微法尔（WFR）携国产自研晶圆传输核心部件展示平台亮相CSEAC 2024，以一场创新自研的持续革新，续写起半导体国产设备的“进化论”，吸引了业界内外的广泛关注。此次参展，除全面展示在半导体设备制造领域的最新科技成果外，微法尔（WFR）还发布了两款颠覆性新品，为半导体产业链的升级与发展增添了全新选择。

近年来，半导体设备国产化进程正处在全面提速阶段，CSEAC作为我国半导体行业专注「设备与核心部件」领域的展示会，汇聚了国内外知名企业，为众多半导体设备/部件企业展示新产品、新发展景象提供良好的交流平台。

微法尔（WFR）是SRT旗下子公司，也是半导体领域智能制造的新生代企业，拥有大量从业经验10年以上的技术团队，并以“半导体行业制程设备专业制造商”的角色定位，致力于高端进口设备的国产化替代，用技术创新解决“卡脖子”难题，在赢得良好客户口碑的同时，也展现出专业的技术优势。

此次参展，微法尔（WFR）以5大半导体自主研发“全国产晶圆传输核心部件展示平台”搭建沟通桥梁，一方面，以技术赋能重塑客户体验，为广大客户带来突破行业边限的全新产品；另一方面，微法尔（WER）希望与各地设备制造商、技术研发机构及行业精英，共同探讨半导体技术的未来趋势与合作机遇，合力推动中国半导体产业的技术交流与产业升级。

 

在本次展会上，微法尔（WFR）全新推出手臂精度展示平台和单臂双叉SCARA晶圆机械手展示平台。晶圆搬运机械手是微法尔（WFR）为半导体行业晶圆传输开发的专用机械手，具备完全自主的知识产权，产品已通过SEMI S2认证。值得一提的是，晶圆搬运机械手重复性精度高达±15μm，远超行业平均水平。配合微法尔（WFR）自主设计的末端拾取器，可实现300mm及以下各种材质和厚度晶圆的可靠传输。

     

 

两款新品的成功发布标志着微法尔（WFR）“产品图谱”再度扩员，在专注高端进口设备国产化替代的道路上，微法尔（WFR）通过高密度的研发投入和持续的寻求合作，打破产业链技术壁垒，赋能客户价值。微法尔（WFR）一直将研发作为发展的核心驱动力，截至目前，自研产品已涵盖晶圆输出相关的LaodPort、Robot、Aligner、Sorter、EFEM和后道工艺相关的滚轮贴膜、真空贴膜（含Taiko）、超薄晶圆揭膜（含Taiko）、UV解胶、裂片等工艺设备。

同时，在本次展会上，微法尔(WFR)还展出了EFEM AEW6000系列、Sorter ASW6000系列和晶圆传输系统核心部件展示平台，向广大业界同仁传递着半导体产业发展新阶段的国产力量。